半导体
液晶显示
光伏
测量薄膜和外延层的厚度,密度和成分等; 晶片表面应力测试和研究; 单晶材料晶向、晶格常数测定和晶格缺陷研究; 识别和定量半导体晶片、器件表面杂质; 检查封装器件和IC的横截面结构和内部缺陷,三维扫描和成像; 半导体加工用胶、蜡、抛光布等高分子聚合物来料检测。
相关仪器
X射线单晶衍射仪 SCXRD
X射线显微CT Xay-CT
差示扫描量热仪 DSC
光离子质谱同时测量系统 TG-DTA