技术参数：

硬件：
1. 对应超轻元素的X射线光管：采用4kW、30μm薄窗X射线光管，可高灵敏度测试超轻元素。
2. 采用新型光学系统：采用新型分光晶体，与第二代仪器分光晶体相比，大幅度提高了灵敏度。
3. 48样品交换器：实现平台式共享化，可放置48个样品，多样品交换器实现了省空间。
4. 1次X射线滤光片：除去X射线光管的特征X射线光谱，在减低背景干扰方面发挥威力。
5. 双泵、双真空系统：采用双真空系统（样品室/预抽真空室）；防止粉末样品的细微粉尘混入光学系统的    结构设计，样品交换实现更高效率。
6. 粉末附件：电磁阀真空密封、防止细微粉尘进入真空泵内。
7.定点分析：
    100μm的Mapping分辨率。可在CCD图像上指定点、区域、线。定点最小直径500μm。
    采用r-θ样品台，避免1次X射线的照射面、以及分光晶体的反射强度的干扰，可得到很佳灵敏度分析结果。(无r-θ样品台) 节能、节省空间、节能功能（自动减少X射线光管输出）减少冷却水量5L/min（水温30以下）PR气体流量减少（5mL/min）省空间。采用联体设计，设置面积只占传统仪器70%的空间。便于维护PAS脉冲高度自动调整 F-PC芯线自动清洗。

软件：
1. 新版SQX软件：在RIGAKU独有的基本参数法技术的基础上SQX（Scan Quant X），追加了新功能。
2. 委托分析EZ扫描：采用对话框形式设定，可进行SQX分析。
3. 定角测试模式：微量元素，采用谱峰和扣背景以一定时间记数方法，使用抑制统计变动的X射线强度，算出分析值。自动设定每个样品变化扣背景的位置。
4. 应用模板 ：各种测试条件以及样品前处理顺序均设置其中。
5. 散射线FP法：
   不需设定非测试成分，也可以准确分析。散射线强度计算，可以考虑几何学效果，没有样品量信息也可准确分析。不易加压成形的样品以及油状样品，使用SQX软件，可以简单、准确地进行分析。
流程条： 测试、处理流程显示。根据流程条内容，击鼠标键，便可按顺序进行所需的测试、处理。
其它特点的软件功能：
SQX分析功能
Mapping数据库
材质辨别
理论重叠校正
自动程序运转
校正投入量计算

应用软件包：
应用软件包，设定样品（标准样品、漂移校正样品）
CD-ROM（测试条件、校正常数等）、操作手册全盘提供。

主要特点：

1. 轻元素（B,C）灵敏度大幅度提高
2. 配备全新的、高强度的分光晶体RX-25,RX-61,RX-75
3. 重金属的高灵敏度分析-采用全新型光学系统
4. 高灵敏度微区分析-Mapping位置分辨率100μm
5. 完美的无标样分析-全新的SQX软件
6. 仪器设计充分考虑周边环境-节能、省空间