要把扫描电镜使用好，日常的保养和维护非常重要。通过维护保养，还能够发现扫描电镜潜在问题，能够及时修正和解决问题，避免事态扩大，减少损失。

近日，中科院半导体所老师反馈，他们TM3030台式扫描电镜的拍摄效果不如先前了，客户这台电镜已经使用8年了，我们接到通知后第一时间安排技术人员上门检查并成功解决问题。

图1 TM3030

对焦效果差，图像不清晰

问题原因

由于韦氏帽脏污灯丝使用时间长，亮度降低，像散加大，导致拍摄效果明显下降

解决办法

取下灯丝垫片或更换灯丝；

清洗韦氏帽、阳极、物镜光阑；

真空系统维护等。

取下灯丝垫片或更换灯丝时可观察韦氏帽是否需要清理，如果为图2左图状态则需要清理韦氏帽，用纤维纸或棉签蘸取抛光膏进行擦拭，擦拭后的韦氏帽放入烧杯中，倒入酒精，使韦氏帽完全浸入在酒精中，需做两次超声，每次10分钟左右，超声后的韦氏帽放在干净的纸上或者锡箔纸上自然风干，也可用吹风机吹干。如果阳极孔周围变脏，也需要进行清洁。可以逆时针旋转将阳极板拧下清洁，清洁方法同韦氏帽。图1右图为擦拭后的韦氏帽。

图2   韦氏帽清洗前后对比效果

维护后的效果展示（如图3）

维护前，虽然铜网表面纹理比较明显，但图像有像散，导致成像效果差；

维护后，铜网表面细节呈现的更好，消除了像散带来的影响，图像更清晰

图3 TM3030 维护前后拍摄效果，样品为标准铜网

注意事项

①韦氏帽和阳极不能直接在仪器上进行清洁工作；

②清洁工具最好用纤维纸蘸取抛光膏进行擦拭，棉签可能会残留棉絮；

③清洁阴极孔时不要大力擦拭，针对顽固污渍可以多擦拭几次；

④韦氏帽侧面的各个孔也需要清洁；

⑤用来暂存韦氏帽的包装尽量用锡箔纸包裹完整后再放入自封袋，不能使用不干净的自封袋；

⑥换完灯丝后，先抽真空再拧紧内六角螺丝。

经过上述一系列的维护和调试，老师做了维护后标准铜网电镜拍摄效果与当初安装时标样效果对比，基本上看不出差异。老师也对日立电镜的品质大加赞赏，TM3030虽然已经使用8年，经过维护处理后就可以焕然一新。

TM3030作为一台日立公司十年前的台式电镜，目前已升级换代，型号为TM4000 II（如图4），新产品在原来基础上增加了10kv加速电压、SE探测器和三种观察模式，每个加速电压下有4种束流可供选择，自动对焦、自动消像散、自动明/暗对比度的调节也更智能、反应更迅速，最大放大倍率也有所提升，不仅性能上有所提升，效率也大大提高了。

图4 TM4000Plus II

如果您的日立电镜在使用中出现上述类似问题或其他问题需要我们解决，也可以电话联系我们。另外，我们实验有TM4000Plus 样机，欢迎诸位老师预约试用。关于产品技术问题请咨询刘经理，电话：13581697130。